翟计全
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常俊杰
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许伟伟
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朱冉
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吉争鸣
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陈健
低温物理学报
超导Josephson隧道结是实现超导量子比特的基本元件．本文介绍了一种利用电子束曝光技术和电子束斜蒸发技术相结合的方法来制备铝超导Josephson隧道结．这种方法工艺简单，通过一次光刻就可完成；而且可以通过调节下层光刻胶厚度、斜蒸发角度、悬空桥区宽度等参数可以有效地控制隧道结的面积大小；此外，本方法通过采用不对称电极结构有效地改善了隧道结的漏电流特性，满足了制备超导量子比特的要求．
关键词:
Al/Al2O3/Al隧道结
,
双层光刻胶
,
悬空掩膜结构
,
斜蒸发
陆殷华
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许伟伟
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沈丹丹
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孙国柱
,
梁敏
,
曹春海
,
吴培亨
低温物理学报
利用电子束曝光法对双层光刻胶进行曝光来制备悬空掩模结构,在此基础上利用电子束蒸发系统采用倾斜角度蒸发法制备铝超导薄膜,采用热氧化法在底层铝膜表面形成氧化铝作为势垒层,制备出铝SIS超导隧道结,并在360mK的情况下对铝结进行了I～V特性的初步测量.铝隧道结的成功制备为下一步构建超导量子比特器件,研究其量子特性奠定了良好的基础.
关键词:
Al/Al2O3/Al隧道结
,
双层光刻胶
,
悬空掩模结构
