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可见光波段飞秒激光双光子微纳加工

陈述 , 郑美玲 , 董贤子 , 段宣明 , 赵震声

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.04.012

基于矢量衍射理论,计算了多个可见光波段激光经紧聚焦后在焦点附近的双光子点扩散函数.计算结果表明,双光子吸收效应的作用区域随着波长的减小而减小.采用多个可见光波段飞秒激光光源进行了双光子光聚合加工,并对加工分辨率和加工阈值进行了分析.实验结果表明,在每个激光波长条件下,降低光子流密度能够提高加工分辨率;随着加工波长的减小,双光子跃迁过程逐渐满足近共振跃迁条件,双光子吸收几率逐渐增大,双光子加工的阈值逐渐降低.

关键词: 激光技术 , 分辨率 , 双光子加工 , 聚合阈值

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