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大功率准分子激光器控制系统研制

樊友平 , 黄席樾 , 余吟山

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.01.005

本文设计了一个智能化的激光器控制系统,它可以完成对准分子激光器正常工作时的技术参数的测量.该装置具有使用方便、成本低、误差小等特点,经过实际使用验证,工作稳定可靠,具有较好的实用价值.

关键词: 准分子激光器 , 参数测量 , 主从微机控制系统