冯翔
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林广庆
,
张俊
,
李曼菲
,
邱龙臻
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20132803.0338
利用润湿/去润湿的方法配合旋涂工艺制备了图案化的TIPS-并五苯有机半导体薄膜,制备了顶接触有机薄膜晶体管(OTFTs).金相显微镜观察发现,转速的选择对TIPS-并五苯薄膜结晶形貌的影响较大.在1000～2000 r/min转速下制备的薄膜完整性好,结晶区域较大;而转速增加到3000 r/min后,难以获得完整的薄膜且晶粒尺寸变小.电学性能研究得到器件的输出曲线、转移曲线、开关电流比、阈值电压、场效应迁移率,发现结晶形貌好的器件具有更好的电学性能.1000 r/min转速下制备OTFT器件最大场效应迁移率为5.16×10-2 cm·V-1,s-1电流开关比为8×103.
关键词:
有机薄膜晶体管
,
去润湿图案化
,
电性能
