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离子镀厚金膜过渡层的研究

李争显 , 骆瑞雪 , 周慧

稀有金属材料与工程

通过对电弧离子镀厚金膜工艺过渡层的深入研究,得出了采用离子轰击清洗、Ni-Cu过渡层和镀膜室内热处理是离子镀厚金膜的工艺路线,通过一次装炉实现了制备Ni-Cu过渡层、沉积金膜、热处理和金膜增厚等工序一次完成.经过现场实验,摩擦副的往复运动次数在运动速度2.5 m/s时超过120次,完全满足要求.

关键词: 离子镀 , 厚金膜 , 过渡层