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初探混合物理化学气相沉积法(HPCVD)制备不锈钢衬底MgB2超导厚膜样品

王新峰 , 郭荆璞 , 贾璋 , 吕莹 , 朱萌 , 王晓楠 , 陈晋平 , 徐军 , 冯庆荣

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2004.04.013

介绍用混合物理化学气相沉积法(HPCVD)制备的不锈钢衬底MgB2超导厚膜样品.该样品的Tc(onset)=38K,Tc(0)=27K.X光衍射图形表明它是(101)方向织构的致密厚膜.这种膜具有较强的韧性,同时和衬底有高度的结合性.当其被弯曲到约200微米半径的弧度时,膜面会出现条状裂纹,但仍有少部分膜面未被破坏,保持完整,表现出较好的韧性.

关键词: MgB2 , 厚膜超导体 , 不锈钢衬底 , SEM图 , X-光衍射

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