周丽宏
,
张崇宏
,
宋银
,
杨义涛
原子核物理评论
doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2006.02.031
主要研究了铅离子辐照注碳4H-SiC样品在3个不同退火温度下傅立叶变换红外光谱的变化.从红外谱的变化可以知道铅辐照注碳4H-SiC样品在一定深度内出现了非晶层, 波数在960-1 450 cm-1范围内出现了干涉带, 干涉带强度随着退火温度的升高而变弱.1 373 K退火后样品的卢瑟福背散射分析结果显示, 一定深度内硅原子的背散射产额明显减少.
关键词:
4H-SiC
,
傅立叶变换红外光谱
,
离子注入
,
卢瑟福背散射分析
,
退火
