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王水凤 , 曾宇昕 , 元美玲 , 徐飞 , 程国安
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.015
测量了La、Nd稀土离子注入Si基晶片,在不同退火条件下的室温光致发光(PL)谱,结果表明它们均具有蓝、紫发光峰,且发光稳定.在一定范围内发光效率随掺杂浓度的增加而增大、随退火条件的不同而改变.并对样品的发光机理作了初步探讨.
关键词: 稀土掺杂 , 离子注入 , 硅基氧化膜发光 , 卢瑟福背散射(RBS) , 光致蓝紫发光
