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单晶PMnN-PZT铁电薄膜制备与表征

张涛 , 马宏伟 , 张淑仪 , 李敏 , 赵省贵

功能材料

利用磁控溅射方法,在MgO基底上沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%PZT（6%Pb（Mn1/3,Nb2/3）O3-94%Pb（Zr0.45,Ti0.55）O3）,采用淬火方法对薄膜进行后期热处理。分别运用面内和面外X射线衍射（XRD）技术分析薄膜长相及晶体结构,运用高分辨率扫描电镜（SEM）观察薄膜的晶粒表面及截面结构。实验结果表明,所沉积薄膜为单晶钙钛矿结构薄膜,薄膜结构优良。

关键词: PMnN-PZT , 单晶铁电薄膜 , 磁控溅射