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直流磁控溅射法在玻璃上沉积金属镍膜的研究

韩丽

表面技术

采用直流磁控溅射法,在玻璃基板上制备了用于显示器视窗保护玻璃的半透明镍膜,测定了不同溅射条件下所得镍膜的表面粗糙度、透过率及厚度,讨论了溅射气压、溅射功率、行车速度等对薄膜性能的影响.结果表明,薄膜的表面粗糙度随溅射功率的增加而增大,控制溅射气压、溅射功率和行车速度为一定值,可以得到透过率为50％的半透镍膜.

关键词: 磁控溅射 , 半透镍膜 , 液晶显示 , 真空镀膜