材料期刊网

半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展

杨志华 , 余萍 , 肖定全

功能材料

半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一.本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法,部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料,以及近期相关的研究进展,并扼要分析了今后的发展方向.

关键词: 薄膜 , 气敏传感器 , 半导体金属氧化物 , 陶瓷