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化学水浴法制备ZnS薄膜光学性能

王应民 , 杜楠 , 孙云 , 张萌 , 蔡莉 , 李禾 , 程国安 , 徐飞

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.03.009

利用薄膜分析系统测量不同沉积时间制备的ZnS薄膜透射谱,通过分析薄膜透射谱,来确定ZnS薄膜光学常数和禁带宽度.实验结果表明,在线性生长阶段,薄膜的沉积速率大约为1 nm/min,具有很好的线性关系,沉积0.5 h的ZnS薄膜在可见光范围内光透过率为82%左右.

关键词: 化学水浴沉积法 , ZnS薄膜 , 消光系数 , 禁带宽度

枝状ZnO-TiO2复合纳米棒阵列的制备及表征

王碌 , 丁雨田 , 胡勇 , 张杨 , 董小丽

人工晶体学报

采用化学水浴沉积法,在预制晶种层的基底上得到垂直底面生长的有序ZnO纳米棒阵列,再用反应磁控溅射方法,沉积制备ZnO-TiO2复合结构的纳米棒阵列.利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对制备得到的样品进行结构和形貌表征,研究了晶种层、水浴生长液浓度和磁控溅射氧氩比对复合纳米阵列的影响.制备得到了具有TiO2分枝的复合纳米棒阵列,并初步探讨了TiO2分枝的形成机理,为制备基于复合纳米棒阵列的器件提供了条件.

关键词: ZnO , 化学水浴沉积法 , 纳米阵列 , TiO2 , 反应磁控溅射

CdS薄膜中"白斑"的研究

薛玉明 , 孙云 , 周志强 , 孟广保 , 汲明亮 , 郑贵波 , 李长键

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.012

本论文对CdS薄膜中的"白斑"进行了研究.化学水浴沉积法(CBD)制备CdS薄膜所需要的化学反应物包括硫脲、氨水、镉盐和铵盐等.文中采用两种镉盐和铵盐来沉积CdS薄膜:氯化镉和氯化铵,乙酸镉和乙酸铵.所沉积的CdS薄膜的表观形貌由SEM表征,成分由EDX表征.当镉盐和铵盐分别采用氯化镉和氯化铵时,生成的薄膜中存在大量的"白斑".这些"白斑"的成分不是CdS,而是(CdCl)2S.增加氨水的浓度可以大大减少这些"白斑",但是不能彻底消除这些"白斑".当镉盐和铵盐分别采用乙酸镉和乙酸铵时,生成的薄膜均匀、平整,薄膜中根本就不存在所谓的"白斑".因此,沉积CdS薄膜时,镉盐和铵盐不宜采用氯化镉和氯化铵,应该采用乙酸镉和乙酸铵.

关键词: 化学水浴沉积法 , CdS , 白斑

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