刘军
,
宋晓岚
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2012.01.015
由于具有抛光速率快、选择性好、自动停止等特点,二氧化铈浆料被广泛用于材料的表面抛光处理,但抛光机理研究的相对滞后严重制约其物化改性和推广.针对这一现状,本文介绍了二氧化铈浆料抛光过程中的物理作用及化学作用,总结了化学机械抛光机理,并对今后研究方向提出了展望.
关键词:
二氧化铈
,
抛光机理
,
物理作用
,
化学作用
,
化学机械抛光
材料保护
将石墨烯片放在不同基材上时，其基本性质，如导电性能、与其他物质问的化学作用等，会随着基材性质的不同而发生显著变化。
关键词:
基材
,
性质
,
石墨
,
导电性能
,
化学作用
王占奎
,
朱永伟
,
苏建修
,
李勇峰
,
朱楠楠
人工晶体学报
研磨介质的化学作用对于固结磨料研磨的材料去除率和表面质量具有至关重要的影响.采用不同的酸性介质对镁铝尖晶石样品进行研磨,研究了其对镁铝尖晶石固结磨料研磨的材料去除率和表面质量的影响;采用电感耦合等离子质谱仪(ICP)测量了不同酸性介质对镁铝尖晶石工件和研磨垫的化学腐蚀作用,并进一步采用电化学工作站检验了不同酸性介质对研磨垫填料铜的腐蚀性能.结果表明:研磨介质对填料铜的化学腐蚀促进研磨垫的自修整是其对研磨过程材料去除率产生影响的主要因素,其中3％乙酸研磨后的材料去除率最大,可达249.97 nm/min;研磨介质对工件的化学作用可以改善工件的表面质量,其中3％磷酸研磨后的工件表面粗糙度值最小,仅为72.4 nm.
关键词:
镁铝尖晶石
,
化学作用
,
固结磨料
,
研磨
