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BaTiO3铁电薄膜的研究进展

张建辉

金属功能材料 doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2007.03.009

本文综述了近年来BaTiO3铁电薄膜的研究进展,就BaTiO3薄膜的制备方法、性能及其影响因素,深入分析了BaTiO3薄膜制备技术的优、缺点,展望了其应用前景.

关键词: BaTiO3 , 铁电薄膜 , 动态存储器 , 介电常数