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应用大型有限元分析软件ANSYS10.0建立了三轴体微机械电容式加速度传感器的有限元模型,以该模型为基础分析了传感器的前3阶固有频率及其振型.分析表明第一、二阶振型分别影响传感器在X和Y方向上的加速度测量,而第三阶振型则影响传感器在Z方向上的加速度测量,且影响程度较大.分析了传感器挠性轴的宽度、高度、长度和质量块的高度及密度等结构参数对传感器主要性能指标的影响程度,所得分析结果可为传感器的减振设计和进一步的优化设计提供理论依据.

关键词: 有限单元法 , 加速度传感器 , 固有频率 , 灵敏度分析

低量程高线性压阻式微机械加速度传感器

金虎 , 陆德仁 , 沈绍群 , 鲍敏杭

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.006

介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块（岛）质心偏离梁中平面，沿梁伸展方向（ x向）惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 )，线性度优于 0.05％，灵敏度约 1mV/gV，阻尼比 0.7，带宽 110Hz。

关键词: 加速度传感器 , 压阻式 , 横向效应 , 空气阻尼