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移动加热器法晶体生长的研究

李其松 , 刘俊成

材料导报

介绍了移动加热器法晶体生长的基本原理及其优缺点,报道了国内外最新研究进展,讨论了不同工艺参数,如磁场、加速坩埚旋转、重力、生长速度、温度等对THM生长晶体的影响,提出了提高THM生长晶体速度的设想,并就未来THM生长晶体的研究方法和发展趋势提出了自己的看法.

关键词: 晶体生长 , 移动加热器法 , 磁场 , 加速坩埚旋转 , 重力