张云
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张国防
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金利华
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王耀
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于泽铭
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李成山
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闫果
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卢亚锋
低温物理学报
本文采用三氟乙酸盐-金属有机沉积(TFA-MOD)技术在LaAlO3(001)单晶基片上、在不同的低温热处理条件下制备出不同形貌的前驱膜.从金相显微镜(OM)和扫描电镜(SEM)观察可以看出,低温预分解时造成前驱膜的形貌不完整性在高温处理后并没有消除.对高温热处理后的YBCO成相膜用X射线衍射进行了物相定性分析,用J_c-Scan Leipzig系统对超导薄膜进行了超导性能分析,结果表明,前驱膜的形貌不完整性造成高温成相阶段样品杂相出现和超导性能降低,经过对低温热处理条件的优化,得到表面形貌完整的前驱膜,避免了高温成相阶段杂相出现,提高了涂层导体的超导性能,Jc可以超过1.5 MA/cm2.
关键词:
前驱膜形貌
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TFA-MOD
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YBCO
,
超导薄膜
