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张新月 , 麻华丽 , 曾凡光 , 姚宁 , 张兵临
功能材料
采用微波等离子体化学气相沉积法在不锈钢衬底上制备出了纳米非晶碳和碳纳米管混合薄膜,二极管结构测试表明薄膜材料具有优良的场发射性能.利用制备的薄膜材料作为阴极制作了前栅极结构的场发射三极管器件并对其性能进行了测试.结果表明该器件具有优良的栅控性能,亮度很高,有良好的应用前景.
关键词: 场发射三极管 , 前栅极 , 纳米非晶碳和碳纳米管
