张扬伟
,
王秀兰
,
李德俊
,
王富岗
,
林国强
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2000.04.008
采用分离靶多弧离子镀技术,通过改变基片负偏压和分离靶弧电流以及镀膜时间等参数,在310SS(stainless steel)基片上制备了多种成分的Nb1-xAlx(0.38＜x＜0.64)合金薄膜.结果表明,选择适当的基片负偏压和分离靶弧电流可制得所需成分的二元合金薄膜.对所制备的Nb1-xAlx薄膜,分别做了600℃、900℃的热腐蚀实验(低温热腐蚀和高温热腐蚀),热腐蚀实验表明,该薄膜具有较好的抗热腐蚀能力.
关键词:
多弧离子镀
,
分离靶
,
薄膜
,
热腐蚀
,
镀合金
