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郭萍 , 孙凤梅 , 张渊 , 夏兵
表面技术
基于单晶硅材料,通过阳极电化学腐蚀法制得多孔硅材料,通过湿化学刻蚀法制得硅纳米线材料,经过空气等离子体氧化处理后,采用扫描电子显微镜、傅里叶红外光谱仪对样品的化学组分以及表面微观结构进行了表征.最后对多孔硅和硅纳米线材料的减反效果进行对比,结果表明,硅纳米线具有更优越的减反效果.
关键词: 多孔硅 , 硅纳米线 , 光伏电池 , 减反性能
