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用化学腐蚀制备多孔硅太阳电池减反射膜的研究

谢荣国 , 席珍强 , 马向阳 , 袁俊 , 杨德仁

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.04.010

采用HF/HNO3溶液化学腐蚀,在硅片上制备减反射效果优良的多孔硅太阳电池减反射膜,借助原子力显微镜(AFM)和X光电子谱(XPS)对其表面形貌和成分进行观察,发现该膜与电化学阳极腐蚀得到的多孔硅具有相似性,其主要成分为非化学配比的硅的氧化物SiOx(X<2).采用带积分球的光度分光计,测得形成多孔硅减反射膜后,硅片表面反射率大大下降,,在波长330~800nm范围反射率只有1.5~2.9%.研究指出这种强减反射作用,与多孔硅具有合适的折射率及其多孔特性的光陷阱作用有关.

关键词: 多孔硅 , 太阳电池 , 减反射膜 , 化学腐蚀

硅太阳能电池减反射膜的研究进展

王彦青 , 王秀峰 , 江红涛 , 门永

材料导报

综述了国内外对硅太阳能电池减反射膜的研究进展,包括减反射膜的种类、膜层结构、减反射原理以及减反射膜的制备方法,重点介绍了硅太阳能电池减反射膜的主要制备方法,并对比了各种制备方法的优缺点,指出新型制备技术和新膜系的选取是目前硅太阳能电池减反射膜的研究重点.最后讨论了硅太阳能电池减反射膜存在的问题,并提出进一步发展的方向.

关键词: 减反射膜 , 太阳电池 , 转化效率 , 制备技术

TiO2/SiO2双层减反射膜的制备及其性能研究

白红艳 , 涂洁磊 , 肖祥江 , 付蕊 , 赵沛坤 , 李烨

人工晶体学报

采用真空电子束蒸发法制备TiO2/SiO2双层减反射膜,实现宽波段范围内的低反射率,以满足砷化镓三结太阳电池对入射光的需求.主要研究了基片温度、电子束流和充氧量对TiO2、SiO2单层膜性能(膜层厚度、折射率)的影响.研究过程中,按照三因素两水平的正交实验进行,用分光光度计对TiO2、SiO2薄膜样品的折射率进行测试.实验结果显示,两种氧化物介质膜的折射率均随基片温度和束流的升高而增加,随氧压的升高而降低,工艺参数对TiO2膜性能影响较大.

关键词: TiO2/SiO2 , 减反射膜 , 电子束蒸发 , 折射率

三层减反射膜的模拟及其在太阳电池中的应用

宫臣 , 张静全 , 冯良桓 , 武莉莉 , 李卫 , 黎兵 , 曾广根 , 王文武

功能材料

使用减反射膜层是提高太阳电池短路电流密度进而提高电池转换效率的有效手段之一.针对CdTe薄膜太阳电池的光谱响应范围,基于AM1.5辐照光谱,优化设计了MgF2/H4/Al2O3结构的减反射薄膜,使用电子束蒸发技术制备了该减反射膜,使用椭圆偏振仪、紫外/可见分光光度计、原子力显微镜分别测量了所制备薄膜的光学性质和表面形貌,对比分析了膜系结构理论模拟与实验测量结果.结果表明,使用该减反射薄膜后,电池的量子效率提高了7.3%;光电转换效率从12.5%提高到13.3%.

关键词: 减反射膜 , CdTe , AM1.5 , H4 , 量子效率

晶硅太阳电池上表面减反射膜的效果评价与分析

周涛 , 陆晓东 , 张鹏 , 李媛

硅酸盐通报

本文首先利用Silvaco-TCAD半导体器件仿真软件建立基于优化减反射膜结构的二维晶硅太阳电池结构.然后利用传递矩阵法(TMM),优化设计由多种常见介质膜材料组成的减反射膜结构.最后详细分析了SiO2/Si3N4和MgFJZnS双层减反射膜对太阳电池性能的影响.结果表明:在400 ~ 750 nm波长范围内,MgF2/ZnS减反射膜光反射损耗最小.在850~1200nm波长范围内,SiO2/Si3N4减反射膜光反射损耗最小.光反射损耗越小,太阳电池量子效率和转换效率越高.减反射膜的钝化效果对晶硅电池短波段(λ<550 nm)光谱响应影响较大.通过光吸收效果和钝化效果对减反射膜性能进行综合评价,SiO2/Si3N4减反射膜优于MgF2/ZnS减反膜,更有利于晶硅太阳电池转换效率的提高.

关键词: 晶硅太阳电池 , 减反射膜 , 表面复合 , 量子效率 , 转换效率

溶胶粒径对氧化硅减反射膜结构和光学性能的影响

倪志龙 , 王彪 , 杨晔 , 宋伟杰

材料研究学报

以正硅酸四乙酯为前驱体,制备出粒径20-100 nm的二氧化硅溶胶.用提拉法在玻璃基片上制备出氧化硅基多孔减反射膜,并研究了不同粒径的二氧化硅溶胶老化后溶胶胶粒的微观结构与相应的多孔氧化硅减反射膜微观孔结构的差异.结果表明,颗粒粒径约20nm的硅溶胶在老化过程中易团聚成较大的二次颗粒,形成结构疏松的氧化硅多孔减反射薄膜.镀有这种减反射膜的玻璃,其峰值透过率在波长510 nm处达到99.2%.

关键词: 无机非金属材料 , 减反射膜 , 溶胶凝胶法 , 氧化硅 , 粒径

溶胶-凝胶法制备光学减反射膜的研究进展

肖尧 , 陈烁 , 乔旭升 , 樊先平

材料科学与工程学报 doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.05.031

减反射膜可以有效降低光在传播过程中的损耗,应用在太阳能电池中能有效提高能量利用效率.减反射膜是一层折射率介于空气和基板之间的光学薄膜,能减少或消除光学元件表面的反射光,从而增加透光量,因此在光学研究中占有重要地位.溶胶凝胶法是当前材料制备的重要手段之一,与其他方法相比具有产物均匀、反应温度低、可调控性强等显著优点,是制备减反射膜的理想方法.本文介绍了溶胶-凝胶法制备减反射膜的原理,综述了近年来溶胶-凝胶法制备减反射膜的研究进展,特别是对溶胶-凝胶法制备的三类典型减反射膜作了深入讨论,总结了各种不同结构的优缺点,展望了溶胶-凝胶制备减反射膜的前景和面临的挑战.

关键词: 减反射膜 , 溶胶-凝胶法 , 纳米结构 , 透过率

光照区域结构参数对硅光电晶体管性能的影响

周涛 , 吴志颖 , 吴元庆 , 路春希

硅酸盐通报

利用Silvaco-TCAD半导体器件仿真软件,全面系统地分析了光照区域结构参数对硅NPN型红外光电晶体管光电转换特性的影响.仿真结果表明:厚度为240 nm/130 nm的SiO2/Si3 N4双层减反射膜在特征波长(λ =0.88μm)处具有最优的光吸收效果和峰值光响应度(RM);为满足器件对红外波段的有效吸收和响应,外延层厚度应选择为55 ~ 60 μm;提高外延层电阻率虽可增大集-射击穿电压(BVCEO),但较高的外延层电阻率同时会降低红外波段光谱响应度;为了获得较高的红外光谱响应度,同时抑制可见光波段的响应,光照区域基区表面浓度应选择为5×1019 cm-3,结深应选择为2.5μm.

关键词: 光电晶体管 , 减反射膜 , 电阻率 , 少子寿命 , 掺杂浓度 , 光谱响应度

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