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微空心阴极放电与准分子光源

江超 , 王又青

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2005.02.003

微空心阴极放电是一种新颖的、非平衡、高气压辉光放电.综述了微空心阴极放电的基本原理;详细论述了微空心阴极放电中的准分子辐射,以及微空心阴极放电的放电方式(直流放电、脉冲放电、射频放电)对准分子辐射强度和效率的影响;最后论述了微空心阴极放电的运行方式(串联运行、并联运行)对准分子辐射的影响.

关键词: 激光技术 , 微空心阴极放电 , 准分子辐射 , 光谱光学