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孔结构对氮化硅陶瓷介电性能的影响

李军奇 , 赵锴 , 徐洁 , 罗发 , 朱冬梅 , 周万城

稀有金属材料与工程

采用添加成孔剂和冰冻-干燥法制备了具有不同气孔率的氮化硅多孔陶瓷,研究了该陶瓷在9.3 GHz的微波介电性能.用SEM对微观形貌进行观察.结果表明,不同的成型工艺制备出具有不用孔结构的氮化硅多孔陶瓷,添加成孔剂制备的多孔陶瓷为较大的孔、洞分布在较致密的基体上;冰冻-干燥法制备的多孔陶瓷具有复合孔结构.对试样介电特性的研究表明,除了气孔率对介电常数和介电损耗有较大影响外,孔结构也是影响其介电特性的重要因素.

关键词: 氮化硅 , 多孔陶瓷 , 成孔剂 , 冰冻-干燥法 , 介电性能

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