黄蓉
,
焦继伟
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.016
提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径.在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000μm×600μm×300μm的射频开关,驱动电压为35V,在射频信号频率为50MHz到10GHz的范围内,该开关的插入损耗低于2dB,隔离度高于40dB.
关键词:
微电子机械系统
,
射频开关
,
共面波导
孟庆端
,
张晓玲
,
周鲁英
,
张雪强
,
何豫生
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.02.014
提出了一种基于电磁带隙结构的低通滤波器实现形式,这种新型低通滤波器采用电容周期性加载共面(Coplanar Waveguide)传输线结构的形式.为了减小通带内波纹、显著提高阻带信号抑制,电容单周期性加载结构被调整为电容双周期性加载结构,同时在共面传输线的接地面上引入了双周期性的长方形缺陷地结构.基于上述方案设计制作了一个高温超导低通滤波器,仿真及测试结果表明:低通滤波器的带外抑制平均增加了约20 dB,带内传输损耗波纹显著变小.
关键词:
电磁带隙结构
,
共面波导
,
高温超导低通滤波器
