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La、O+双注入硅基薄膜室温可见光致发光研究

元美玲 , 曾宇昕 , 徐飞 , 王水凤 , 程国安

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.016

测量了用离子注入方法将La、O+双注入硅基样品在室温下的光致发光(PL)谱,实验结果表明它们均具有蓝、紫发光峰,且发光稳定.在一定范围内发光效率随退火温度和注入顺序的不同而变化.用原子力显微镜观察了不同条件下制备的样品的表面形貌,并对样品的发光机理作了初步探讨.

关键词: 离子双注入 , 硅基薄膜发光 , 光致蓝紫发光 , 表面形貌

稀土La、Nd掺杂硅基薄膜光致发光特性

王水凤 , 曾宇昕 , 元美玲 , 徐飞 , 程国安

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.015

测量了La、Nd稀土离子注入Si基晶片,在不同退火条件下的室温光致发光(PL)谱,结果表明它们均具有蓝、紫发光峰,且发光稳定.在一定范围内发光效率随掺杂浓度的增加而增大、随退火条件的不同而改变.并对样品的发光机理作了初步探讨.

关键词: 稀土掺杂 , 离子注入 , 硅基氧化膜发光 , 卢瑟福背散射(RBS) , 光致蓝紫发光

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