周雪丽
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李世中
功能材料与器件学报
介绍了一种基于光致形变聚合物材料的MEMS开关微驱动器.光致形变聚合物材料在光驱动型微执行器上的应用具有体积小、结构简单、易实现遥控等特点.根据MEMS的尺寸及性能要求建立开关及微驱动器模型,并得到所需最大驱动力.通过计算得出具有一定尺寸光致形变薄膜的等效弯曲行为,并将其应用到MEMS开关微驱动器上.运用ANSYS对微驱动器及闭锁机构仿真分析,根据仿真结果对结构进行改进,确定了采用多层薄板结构的方案,以满足最大驱动力要求.
关键词:
光致形变聚合物
,
MEMS
,
开关
,
等效弯曲
,
微驱动器
,
ANSYS
陈茂林
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刘钊
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岳涛
,
朱玉田
,
李安虎
材料科学与工程学报
随着光致形变聚合物材料研究的不断深入,迫切需要从理论上研究其光致驱动的力学行为.针对这一情况,本文提出了光致形变聚合物材料系统的变形能分析方法,初步建立了材料梁的变形能分析模型.利用此方法,对由光致形变聚合物材料带构成的光驱动马达的驱动力矩进行了分析和计算,结果与试验现象相符合,解释了光照条件对驱动力、驱动方向的影响,较好地揭示了该马达的光驱动机理.
关键词:
光致形变聚合物
,
光驱动马达
,
变形能分析
,
驱动力矩
