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SiGe/Si异质结光电器件

刘国军 , 叶志镇 , 吴贵斌 , 孙伟峰 , 赵星 , 赵炳辉

材料导报

SiGe/Si异质结光电器件及其光电集成(OEIC)是硅基光电研究的一个非常引人注目的领域.综述了SiGe/Si异质结材料的基本性质,SiGe/Si异质结光电器件的结构、性能、应用及其光电集成.重点介绍了SiGe/Si光电探测器及其与其他相关器件的集成.

关键词: SiGe/Si异质结 , 光电器件 , 光电集成