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王学锋 , 王向朝 , 钱锋 , 卢洪斌 , 宋松 , 步扬
量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2001.z1.013
本文在作者提出的光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上,提出了一种扩大其测量范围的方法,使得在保持纳米精度的前提下,测量范围由半个波长扩大为125.56μm,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性.本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证.
关键词: 纳米测量 , 光热调制 , 干涉仪 , 光学检测
