冯宗财
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李琳
,
郭祀远
,
王跃川
,
赵凌
,
陈毅敏
功能材料
研究了高支化碱溶性感光聚合物的碱溶性、感光性及其光致抗蚀剂的成像显影性能.研究发现高支化碱溶性感光聚合物酸值越大,图像越清晰,显影时间越短,并具有更良好的图像断面;平行光曝光图像清晰度和断面情况均比点光源好;在合适的成像显影条件下,经UV白光接触曝光高支化感光聚合物抗蚀剂图像分辨率可达到约1μm.
关键词:
高支化
,
感光聚酯
,
光致抗蚀剂
,
光成像
冯宗财
,
陈毅敏
,
王跃川
,
陈波
,
杜春蕾
功能材料
通过1,2,4-苯三甲酸酐和环氧氯丙烷合成高支化碱溶性聚酯,再用丙烯酸与多官能团环氧树脂反应产物对高支化聚酯改性得到高支化碱溶性感光聚合物;研究了这类聚合物的碱溶性、感光性和光成像特性.探索了光致抗蚀剂的配方组成和成像因素.结果表明,以接枝引入15%改性多官能团环氧树脂配制的光致抗蚀剂综合性能最好,分辨率3μm以内(白光).
关键词:
高支化聚酯
,
丙烯酸
,
多官能团环氧树脂
,
光成像
