于永红
,
杜丕一
,
王瑞春
,
韩高荣
,
翁文剑
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.014
介绍了一种具有柱状结构的a-Si:H/nc-Si复合光导层的液晶光阀,复合光导层是通过热蒸发和等离子体辉光放电沉积方法,采用Al诱导a-Si:H制成的.经过测试,这种柱状结构薄膜具有电导各向异性,其横向电导率小于纵向电导率.用这种薄膜制成的液晶光阀其分辨率达到500lp/inch.
关键词:
液晶光阀
,
柱状结构
,
a-Si:H/nc-Si复合薄膜
,
光导层
