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溶胶凝胶法混合掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究

邓焯泳 , 朱惠宗 , 冯金垣

功能材料与器件学报

采用溶胶凝胶法在玻璃基片上制备混合掺杂Cu_TiO2和Fe_TiO2的SnO2薄膜,常温下对不同掺杂浓度的薄膜在丙酮、乙醇两种气氛作用下进行气敏光学特性测试.研究分析表明,1％ Fe_TiO2_SnO2混合掺杂薄膜的乙醇特性灵敏度在较宽波段保持15％左右；5％ Cu_TiO2一SnO2混合掺杂薄膜的丙酮气敏特性最好,灵敏度最高可达23.9％.

关键词: 溶胶凝胶法 , SnO2 , 气敏 , 光反射率 , 灵敏度