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衬底温度对氢化微晶硅锗薄膜生长的影响

张丽平 , 张建军 , 张鑫 , 孙建 , 赵颖

人工晶体学报

采用VHF-PECVD技术在玻璃衬底上沉积微晶硅锗薄膜.研究了衬底温度对微晶硅锗薄膜的微结构和光电特性的影响.结果表明:随着衬底温度的升高,微晶硅锗薄膜的生长速率减小,(220)晶向强度增强;而同一衬底温度下,锗浓度的增加将抑制薄膜(220)晶向的生长,通过相应地提高衬底温度可以解决这一问题.利用生...

关键词: 氢化微晶硅锗薄膜 , 衬底温度 , 光、暗电导率