欢迎登录材料期刊网
张文广 , 夏义本 , 居建华 , 王林军
功能材料
利用偏压增强MPCVD法成功地实现了金刚石薄膜在附有SiO2掩膜图形的镜面抛光的Si(100)上的选择性织构生长,列举了最佳偏压成核与选择性生长条件,SEM和Raman光谱对所得样品进行了表征,并对偏压对选择性成核和生长的影响机制进行了探讨.
关键词: 金刚石薄膜 , 偏压形核 , 选择性生长
