杜晓松
,
杨邦朝
功能材料
对X射线倒易空间图技术(RSM)及X射线反射技术(XRR)的原理及其在外延薄膜表征方面的应用进行了介绍.RSM主要用于表征外延薄膜的应变、弛豫、马赛克缺陷、倾斜等微观缺陷,因为这些缺陷在倒空间中按不同的方向展宽.而XRR主要用于模拟薄膜的厚度、粗糙度、密度及深度分布.
关键词:
倒易空间图
,
X射线反射谱
,
外延薄膜
王庆学
,
魏彦锋
,
方维政
,
杨建荣
,
何力
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.01.025
采用高分辨 X射线衍射的倒易空间图研究了 HgCdTe/CdZnTe(- 0.044%晶格失配 )液相外 延材料界面处晶格结构,结果显示,通常使用的 10μ m厚的碲镉汞液相外延材料的晶格相对碲锌镉 衬底已处于完全弛豫状态,并且外延层和衬底的晶向发生了 0.01°的偏离,但是,由于外延层中存在 着组分梯度以及衬底和外延层热膨胀系数存在着差异,界面处外延层中仍存在着应力和应变.对 称衍射和非对称衍射的实验结果均显示外延材料的倒易空间图沿垂直于散射矢量方向有所扩展, 这一结果表明晶格失配的弛豫使得界面处外延层的晶体结构呈镶嵌结构.实验也发现,外延层的 非对称衍射倒易空间图的扩展偏离散射矢量方向,根据弛豫线模型,这也是由于界面处外延层存在 组分梯度和应变梯度所造成的.
关键词:
HgCdTe/CdZnTe
,
倒易空间图
,
弛豫线模型
