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薄膜X射线应力测试三种衍射几何比较

张铭 , 何家文

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2001.01.018

对比了薄膜X射线应力测试的三种衍射几何，结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点，所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射侧倾法测量了PVD和PCVD工艺的TiN薄膜的内应力情况，结果表明制备工艺对于气相沉积膜内的应力状态有较大影响。

关键词: 掠射侧倾法 , 常规法 , 侧倾法 , 薄膜