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半导体玻璃微通道板制造工艺研究

王中俭 , 胡一晨 , 姜建华 , 陆剑英

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2008.04.021

体电导半导体玻璃微通道板具有优异的性能,为了突破其制造工艺的技术难关,研究和分析了过程技术参数以及缺陷成因.以磷酸盐系统半导体玻璃和酸溶玻璃作为微通道板单纤维的皮料和芯料,在电炉中熔制得到玻璃纤芯及皮料的母棒,然后根据两种玻璃的性能及工艺参数,采用光纤自动成纤系统研究了适合双坩埚法单丝拉制的工艺.重...

关键词: 微通道板 , 体电导 , 半导体玻璃 , 双坩埚 , 制造工艺

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