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悬臂梁结构Sm-Fe GMFs的磁致伸缩及幅频特性

周白杨 , 雷德辉

中国有色金属学报

采用离子束溅射沉积(IBSD)法在聚酰亚胺衬底上沉积不同厚度Sm-Fe GMFs;采用磁致伸缩测量仪测试制备态和不同温度真空退火后薄膜悬臂梁结构自由端偏转量;利用赫姆霍兹系统测量制备态和真空退火后薄膜的幅频特性.结果表明:在低频(0～100 Hz)范围内,检测到悬臂梁结构Sm-Fe GMFs共振现象...

关键词: Sm-Fe GMFs , 悬臂梁结构 , 低场磁敏性 , 频率 , 振幅