徐小科
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赵俊亮
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李效民
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吴永庆
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杨哲
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何兵
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.07.009
低压化学气相沉积法生长的 B 掺杂 ZnO 薄膜具有良好的光散射特性，可以用作硅基薄膜太阳能电池的前电极.以 Zn (C2 H 5)2和 H 2 O 为前驱体， B2 H 6为掺杂物，通过低压化学气相沉积法在玻璃衬底上生长了 B 掺杂 ZnO 薄膜.通过 XRD、FESEM、四探针测试仪等手段对样品的结构特征、微观形貌及导电性能进行表征，着重研究了(110)取向的 BZO 薄膜的生长机理.结果表明，厚度在500 nm 以下的 BZO 薄膜主要表现为(002)取向，随着厚度的增加，薄膜取向开始向(110)转变.所得 BZO 镀膜玻璃在400~1000 nm范围内总透过率＞80％，雾度最高可达28％(550 nm)，方块电阻最低约7Ω/□，电阻率最低约1．0×10－3Ω?cm.
关键词:
BZO
,
透明导电氧化物
,
生长机理
,
雾度
,
低压化学气相沉积(LPCVD)
