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Au/锗/氧化硅纳米多层膜/p-Si结构的电致发光机制研究

陈彦 , 马书懿

功能材料

用射频磁控溅射法制备了锗/氧化硅纳米多层膜,在室温下测量了Au/锗/氧化硅纳米多层膜/pSi结构的电致发光.利用位形坐标模型分析了锗/氧化硅纳米多层膜的发光中心,并用量子限制-发光中心模型对该纳米结构的电致发光过程作了研究,研究表明锗/氧化硅纳米多层膜的电致发光主要来自SiO2层的发光中心.

关键词: 锗/氧化硅纳米多层膜 , 电致发光 , 位形坐标 , 量子限制 , 发光中心

C镶嵌SiO2薄膜电致发光谱的数值分析

张国恒 , 马书懿 , 陈彦 , 张汉谋 , 徐小丽 , 魏晋军 , 孙小菁

功能材料

采用磁控溅射法制备了含纳米碳粒的氧化硅薄膜,在室温下测量了Au/镶嵌纳米碳粒氧化硅膜/p-Si结构的电致发光谱,电致发光谱显示,随着正向偏压的增加,来自该结构的电致发光峰位于650nm处几乎不移动,发光强度增大.利用位形坐标模型对C镶嵌SiO2薄膜的电致发光谱进行了分析,结果表明该结构的电致发光谱存在1.8和2.0eV左右的两个发光中心,分别来自SiO2层的非桥氧空位和纳米C团簇.

关键词: 磁控溅射 , 纳米碳粒 , 电致发光 , 位形坐标

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