欢迎登录材料期刊网
赵康 , 鄢君辉 , 刘正堂 , 郑修麟
材料导报
介绍了化学气相沉积(CVD)中的传质现象研究的最新进展,从传质方程的建立到边界条件确定都进行了详细的介绍,并举例说明了数值分析的结果对反应器设计与工艺参数的优化的指导作用.
关键词: 化学气相沉积 , 传质现象 , 沉积速率
