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介电/半导体功能集成薄膜的制备和特性调控

何子均 , 肖定全 , 朱建国

功能材料

膜的应用;概括介绍了介电/半导体功能集成薄膜的制备方法及特性调控.

关键词: 介电/半导体薄膜 , 功能集成薄膜与器件 , 集成铁电薄膜 , 极性氧化物 , GaN