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论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进

许扬 , 赵一谦 , 李剑侠 , 郑伟民 , 田炜 , 丁积军

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.03.040

要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替,与此对应,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进.第四代产品研发需要在以往技术积累基础上,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新.

关键词: 单晶炉 , 晶体生长 , 产品研发 , 技术平台

奥贝球铁(ADI)的研究与产业发展

材料导报

新型工程材料奥贝球铁的产品研发及应用,在不同的工况下要求各异,同时存在着工艺、设备及加工三大难题.以高韧性ADI风镐缸体的批量生产实践为例,论述了产品研发的技术关键,并提出了ADI产业化的思路.

关键词: 奥贝球铁 , 产品研发 , 产业化