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流延法制备AlN陶瓷基板的研究

曹峻 , 张擎雪 , 庄汉锐 , 邬凤英

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.02.013

从颗粒尺寸、浆料流体类型、干燥条件、排胶机制等方面对流延法制备AlN陶瓷基板展开了较为系统的研究.结果表明，颗粒尺寸的不同直接影响到浆料粘度及分散剂用量.适于AlN流延成型的浆料流体类型属于假塑性流体.保持一定的溶剂气氛有利于获得表面平整光滑的流延素坯膜.二次排胶有利于排除AlN流延素坯膜中的残余碳.烧结后基板的断口SEM照片表明晶粒发育较为完善，无明显开气孔，断裂模式为沿晶断裂.

关键词: 氮化铝基板 , 流延成型 , 假塑性流体 , 二次排胶 , 沿晶断裂