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胡佳 , 杜晓松 , 杨邦朝 , 谢光忠 , 应智花 , 蒋亚东 , 王涛 , 袁凯
功能材料
研究了基于PMMA波导的乐甫波传感器,研究了器件的插损以及质量灵敏度随波导层厚度变化的关系.采用低浓度、低粘度的前驱溶液,多步旋涂工艺制备了PMMA波导薄膜,降低了器件的插损,实现了2.18/μm的"有效厚度",器件的质量灵敏度达705cm2/g,与前人相比提高了1倍.
关键词: 乐甫波传感器 , PMMA波导 , 插损 , 质量灵敏度
