焦焱
,
刘林华
工程热物理学报
微机械技术的发展使微结构加工得以实现.但实际加工常与理论设计间存在加工误差,实际工作环境亦会使工件发生氧化等结构异化,使得理论期望难以实现.本文采用严格耦合波分析(RCWA)法研究了氧化膜及加工误差对微尺度二重铝光栅光学特性产生的影响.结果表明,氧化膜的产生将较大削弱二重光栅光学特性调节优势,且主要散热对应温度也将随氧化膜产生而发生变化.对于加工误差,下部凹槽内角所产生的影响为主导作用,应在加工过程中避免.
关键词:
微尺度二重光栅
,
严格耦合波分析法(RCWA)
,
结构异化
,
氧化膜
,
加工误差
焦焱
,
刘林华
工程热物理学报
电磁波入射到微尺度周期性结构表面时,一定条件下将在某一波段产生异常光吸收现象。基于该特性,本文提出了单边移动盖板光栅和双边移动盖板光栅两种光栅结构,并使用严格耦合波分析（RCWA）方法对TM波垂直入射的一维微尺度光栅表面辐射特性进行了分析,研究了滑动盖板的厚度和位置对光栅表面结构辐射特性的影响。结果表明,相同盖板厚度,双边移动盖板光栅形成的发射率峰较单边移动盖板光栅形成的发射率峰具有较宽的半高全宽（FWHM）,但峰值较低;随盖板向关闭侧移动,高发射率峰对应波长向长波方向移动;随盖板厚度增加,发射率峰向长波方向移动,其中双边移动盖板光栅结构形成的发射率峰变宽,峰值变小。
关键词:
光栅结构
,
盖板
,
严格耦合波分析法(RCWA)
,
高发射率谱带
,
波长选择性
