材料期刊网

化合物半导体材料加工中的三废防治

杨钧

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.06.008

讨论了GaAs与GaP的毒性、中毒症状和解毒方法, 比较了砷、磷的毒性异同, 提出了在GaAs与GaP材料加工过程中开展三废防治的设想.

关键词: 三废防治 , GaAs , GaP