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邵增军 , 彭智 , 宋国君 , 姜宁 , 王树龙
功能材料
采用紫外线光刻技术在阳极氧化铝模板(AAO)上生成预设图案,用物理浸润的方法在图案化的模板上生长聚苯乙烯,最后用NaOH和磷铬酸溶液分别溶解模板.采用扫描电子显微镜(SEM)和电子能谱(EDS)分析.结果表明,制备的图案是直径5μm的圆形组成,圆形图案中心之间距离是10μm,每个圆中长满一维纳米阵列,其纳米特性没有变化.
关键词: 紫外光 , 苯乙烯 , 一纳米结构 , 光刻胶 , 图案化模板
