朱宏喜
,
顾超
,
薛永栋
,
任凤章
,
毛卫民
材料保护
为了研究化学气相沉积（CVD）金刚石薄膜生长过程中{100}织构的形成机理，采用x射线衍射、电子背散射衍射和扫描电镜研究了CVD自支撑金刚石薄膜的宏观织构、微区晶界分布和表面形貌。结果表明：金刚石薄膜以{111}面或{100}面为生长前沿面都能够形成{100}织构，但形成的表面形貌不同；通过吸附CH3-和CH3-在{111}面堆积碳原子时，通过{111}面的层层堆垛形成{100}面，且{100}面平行薄膜表面，暴露在晶粒表面的晶面只有{111}面；通过吸附CH2^2-在{100}面上堆积碳原子时，形成的{100}面平行于薄膜表面且作为晶粒大部分表面，晶粒显露的侧面为{111}面。
关键词:
金刚石薄膜
,
化学气相沉积
,
{100}{100}织构
,
形成机理
,
形貌
,
晶体生长
,
生长过程
谢利
,
杨平
材料热处理学报
{100}织构因具有两个易磁化方向能够明显的提高磁性能,因此如何在表面获得具有{i00}织构一直是无取向电工钢研究焦点.本文主要介绍了获得{100}织构的主要工艺方法及其基本原理,并结合实际生产过程对各工艺方法的优缺点进行了分析;一方面,优化无取向电工钢的成分,降低碳、锰元素含量以避免脱碳退火和真空退火,简化生产工艺;另一方面,调节升温速度、降温速度和退火气氛,使{100}晶面的表面能或弹性应变能最低,制备具有{100}织构柱状晶组织的无取向电工钢是今后的发展方向.
关键词:
无取向电工钢
,
{100}{100}织构
,
表面能
,
弹性应变能
,
退火
