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氧化铝陶瓷衬底上金刚石[100]织构生长的氦增强刻蚀

方志军 , 夏义本 , 居建华 , 王林军 , 张伟丽 , 王志明

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.009

用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）在氧化铝陶瓷衬底上成功地制备出具有[100] 织构的金刚石薄膜，并对该薄膜进行了X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和Raman光 谱分析。由于氦原子具有高的电离能，因此本工作在反应气氛中引入了少量的氦，以提高氢等离 子体的刻蚀效率。实验结果表明，少量氦气的引入促进了等离子体对非（100）面的选择性刻蚀， 从而也有利于金刚石薄膜的[100]织构生长。

关键词: MPCVD , 氧化铝衬底 , [100]－织构 , 氦增强刻蚀