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AIN薄膜的成分、相结构和氧化性能

夏立芳 , 王佐诚 , 孙跃 , 马欣新 , 陈士芳

材料研究学报

用X射线光电子能谱(XPS)剥层分析方法,研究AIN薄膜在大气中加热时的氧化性能.结果表明,常温时AIN薄膜稳定;在700℃加热时,Al2O3膜开始增厚.AIN被氧化;加热温度愈高,AIN被氧化得愈剧烈.

关键词: AIN薄膜 , null